Struktura e makinës për gravurë plazmatike

Pajisjet ICP përbëhen kryesisht nga katër pjesë: para-dhoma e vakumit, dhoma e gravurës, sistemi i furnizimit me gaz dhe sistemi i vakumit.

(1) Para-dhoma me vakum

Funksioni i dhomës së para{0}}vakumit është të sigurojë që dhoma e gdhendjes të mbahet në një nivel të caktuar vakumi, të mos ndikohet nga mjedisi i jashtëm (si pluhuri, avujt e ujit) dhe të izolojë gazrat e rrezikshëm nga dhoma e pastër. Ai përbëhet nga një mbulesë, një manipulues, një mekanizëm transmetimi, një derë izolimi, etj.

(2) Dhoma e gravurës

Dhoma e gravurës është struktura thelbësore e pajisjes së gravurës ICP. Ka një ndikim të drejtpërdrejtë në shkallën e gravurës, vertikalitetin e gravurës dhe vrazhdësinë. Komponentët kryesorë të dhomës së gravurës janë: elektroda e sipërme, njësia e radiofrekuencës ICP, njësia e radiofrekuencës RF, sistemi i elektrodës së poshtme, sistemi i kontrollit të temperaturës, etj.

(3) Sistemi i furnizimit me gaz

Sistemi i furnizimit me gaz duhet të dërgojë gazra të ndryshëm gravurë në dhomën e gravurës dhe të kontrollojë me saktësi shpejtësinë e rrjedhës së gazit dhe rrjedhën përmes kontrolluesit të presionit (PC) dhe kontrolluesit të rrjedhës së masës (MFC). Sistemi i furnizimit me gaz përbëhet nga një shishe me burim gazi, një tubacion furnizimi gazi, një sistem kontrolli, një njësi përzierjeje, etj.

(4) Sistemi i vakumit
Ka dy sisteme vakumi, një për dhomën para-vakum dhe tjetri për dhomën e gravurës. Dhoma e para{2}}vakumit evakuohet nga një pompë mekanike. Vetëm kur niveli i vakumit në dhomën e para{4}}vakumit arrin vlerën e caktuar, dera e izolimit mund të hapet për të transferuar vaferën. Vakuumi në dhomën e gravurës sigurohet nga një pompë mekanike dhe një pompë molekulare. Gazrat e krijuara nga reaksioni në dhomën e gravurës evakuohen gjithashtu nga sistemi i vakumit.